镭之源官微 690天前 济南
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镭
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沉
沉睡之书11 38天前 长沙
近日，工业和信息化部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》大家主要是关心的2.1.5和2.1.6，也就是KrF、ArF光刻机2.1.5 248nm：分辨率 <= 110nm 的 KrF 光刻机注意分辨率不是工艺节点！2.1.6 193nm：分辨率为 <= 65nm 的 ArF 光刻机。这可能是干式版本，因 ...全文
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