媒体：别误读“氟化氩光刻机”
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国产套刻8nm光刻机引争议，我们追赶对象真的是ASML吗？
文 | 孙永杰日前，工信部印发的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》（以下简称“目录”）中显示，中国已攻克氟化氩光刻机，其中该目录中，公开可见的与光刻机代际水平和性能等密切相关的光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm指标引发了业内的关注。
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